科技创新

高效空气过滤器

高效空气过滤器
高效空气过滤器[14]
随着洁净技术的发展,高效空气过滤器无论是过滤材料、结构形式、密封材料、外框材料以及检测方法变化发展很快,尤其是集成电路生产的日新月异,要求生产环境达到控制微粒直径为0.05~0.1μm,空气洁净度登记要求1级甚至更为严格,并且还要控制生产环境中的分子级化学污染物、重金属污染物等。为了满足各种工业产品细微化、高精密度的要求,除了从洁净室的布置、围护和室内装饰以及净化空调系统的形式、气流流型等方面采用可靠地技术措施外,关键技术措施之一便是选用符合要求的高效空气过滤器(HEPA)、超高效空气过滤器(ULPA)。在这方面国内外的科研、设计和制造厂家都做了大量研究开发工作,取得了许多可用的成果,但是国产高效过滤器的产品与国际先进产品相比仍有较大差距,尤其是用于比5级(100级)和要求严更严格的洁净室用高效过滤器、超高效过滤器的质量、检测方法等方面存在着较大差距。
我国的国家标准GB13354-92《高效空气过滤器》中规定,高效过滤器是采用纳焰法检测,其效率达到99.9%以上的过滤器;或对粒径≥0.1μm的微粒采用粒子计数测定法,其效率达到99.999%以上的过滤器。高效过滤器的分类见

4-37   高效过滤器的分类

类别

性能指标

额定风量下效率η/%

20%额定风量下效率η/%

额定风量下初阻力/Pa

出厂检漏

A

B

C

D

99.9

99.99

99.999

99.9990.1μm

99.99

99.999

99.9990.1μm

190

220

250

280

检漏

检漏


高效过滤器的耐火分级为3级。1级过滤器,过滤器的全部材料都是不燃的,不燃性材料应符合国家标准GB8624,A级;2级过滤器滤料应为不燃性材料,其要求同1级;分隔板、框架可采用符合GB8624,B2级的可燃性材料;3级过滤器,过滤器的全部材 料可采用符合GB8624 ,B2级的可燃性材料。

高效过滤器的规格按有分隔板过滤器和无分隔板过滤器列于表4-38和表4-39中。

4-38   有分隔板过滤器规格

 

规格代号

外形尺寸/mm

额定风量/m3.h-1

H

W

D

4

400

400

150

500

5

500

500

150

750

6

600

600

150

1000

7

700

700

150

1500

8

800

800

150

2000

9

900

900

150

2500


注:1.当深度为 220mm 时,其相应额定风量比表中数值增加50%;当宽度尺加大50%或1倍时,则其相应额定风量也比表中数值增大50%或1倍。
2.当宽度尺寸加大50 %或 1倍时,其相应额定风量比表中数值也增大50%或 1倍;但7号和7号以上规格的宽度尺寸不得加大,主要是考虑过滤器的稳定性。

4-39   无分隔板过滤器规格

规格代号

外形尺寸/mm

额定风量/m3.h-1

H

W

D

4

400

400

80

650

5

500

500

80

1000

6

600

600

80

1500

7

700

700

80

2000

8

800

800

80

2500

9

900

900

80

3000


注:1.当深度为 220mm 时,其相应额定风量比表中数值增加50%;当宽度尺寸加大50%或1倍时,则其相应额定风量也比表中数值增大50%或1倍。
2.当宽度尺寸加大50 %或 1倍时,其相应额定风量比表中数值也增大50%或 1倍;但7号和7号以上规格的宽度尺寸不得加大,主要是考虑过滤器的稳定性。

高效过滤器的标注方式如下,型号规格、代号见表 4-40。

4-40  高效过滤器型号规格代号

 

序号

项目名称

含义

代号

1

产品名称

高效空气过滤器

G

2

 

结构类别

有分隔板过滤器

Y

无分隔板过滤器

W

3

性能类别

按效率阻力高低分四级

ABCD

4

耐火级别

按结构耐火程度分三级

123

5

基本规格

4-38、表4-39中每一编号代表一种规格

45......6...9

6

其他规格

当表4-38中深度为220mm

S

当宽度为基本规格1.5倍时

Z

当宽度为基本规格2倍时

K


标注示例:GY-A-3-6型表示A类有分隔板过滤器,3级耐火,外形尺寸600mm×600mm×150mm额定风量1000m3/h;GY-A-3-6KS型则表示外形尺寸为600mm×1200mm×220mm,额定风量为1300m3/h。

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